該設備主要用于多晶硅前處理工序，在高溫真空環(huán)境下，對石墨電極、石墨基座、石墨卡瓣等進(jìn)行煅燒，使石墨部件經(jīng)酸洗、高溫烘干后仍殘余的水氣和氯化鹽等經(jīng)高溫真空煅燒后排出爐外，實(shí)現提供高純潔凈石墨部件的目的。性能特點(diǎn)1.裝出料方式：頂部裝出料、底部裝出料。2.工作方式為周期作業(yè)式；可對石墨、陶瓷等材料在高溫、高真空條件下進(jìn)行煅燒處理，也可在充入保護氣氛情況下煅燒；設備發(fā)熱體采用高純石墨碳棒，保溫層采用復合型石墨碳氈，在使用過(guò)程中揮發(fā)量少，壽命長(cháng)、隔熱性好。3.設備占地小，生產(chǎn)效率高，平均能耗低。4.采用觸摸屏、PLC控制，配合儀表及傳感器可實(shí)現全自動(dòng)運行（保留手動(dòng)模式），可實(shí)時(shí)監控。5.設有多重安全防護措施，通過(guò)溫度、壓力計、安全閥等裝置和連鎖保護程序，使設備具備在發(fā)生超溫、超壓、冷卻水欠壓、過(guò)流、短路等故障時(shí)能夠及時(shí)發(fā)出聲光報警，并自動(dòng)啟動(dòng)保護程序，保障設備和人員安全。性能參數型號VGBD-800VGBD-1000額定溫度1600℃1600℃*高溫度2000℃2000℃控溫精度±1℃±1℃爐溫均勻性±10℃±10℃工作區尺寸φ800×800φ1000×600冷態(tài)真空度6.67×10-3Pa6.67×10-3Pa壓升率1Pa/h1Pa/h額定功率400KW400KW電源380V 50HZ380V 50HZ保護氣體氬氣氬氣