真空燒結爐使用時(shí)遇到這三種情況應立刻采取應急措施
真空燒結爐使用時(shí)遇到這三種情況應立刻采取應急措施
真空燒結爐主要用于半導體元器材及電力整流器材的燒結工藝,可進(jìn)行真空燒結,氣體保護燒結及慣例燒結,是半導體專(zhuān)用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它規劃構思新穎,操作便利,結構緊湊,在一臺設備上可完結多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。真空燒結爐使用時(shí)遇到這三種情況應立刻采取應急措施:
一、停電
1、停電時(shí),假如斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。
2、假如在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠趕快康復時(shí),重新啟動(dòng)設備,繼續運轉如需求較長(cháng)時(shí)刻,則將設備保持原狀。
3、假如正在加熱和冷卻時(shí),能夠趕快康復時(shí),重新啟動(dòng)設備,假如需求較長(cháng)時(shí)刻時(shí),則保持原狀,讓設備自然冷卻下來(lái)。
二、加熱電源掉電
1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。
2、接地毛病。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器銜接處必須銜接牢固,與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現毛病,掉電的原因能夠以為因為電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
三、充氣氣體停止
1、抽真空開(kāi)端前,氣體充入時(shí)刻長(cháng)或者無(wú)法充入時(shí),請承認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設備要悉數停止后再進(jìn)行檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要封閉氣體供應閥及配管在內的一切氣體系統。
4、承認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì )影響制品質(zhì)量。
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