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      • 行業(yè)動態(tài)

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        氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些
        發(fā)布時間:2022-09-29   瀏覽:7234次

          氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些

          氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室,水冷電極,測溫?zé)犭娕?,是處理工件的核心部分。下面是關(guān)于爐子優(yōu)勢介紹。

          電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;

        氣相沉積爐(CVI-CVD沉積爐)

          氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控,壓力波動?。?/p>

          全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

          多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

          多級尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能很快收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

          氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時間短,生產(chǎn)效率高。

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